Brooks Automation 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03是一款由Brooks Automation生产的晶圆对准控制器，属于Brooks Automation的VCE系列产品。它主要用于半导体制造设备中，实现晶圆的精确对准和控制。

产品参数与规格

控制精度：纳米级别的定位精度。

工作温度范围：-40°C至85°C。

防护等级：防震、防尘、防潮。

对准精度：±2μm在X/Y方向，±0.1 mrad在θ方向。

重复性：X/Y方向为0.5μm，θ方向为0.05 mrad。

扫描范围：±20mm在X/Y方向，±5°在θ方向。

速度：X/Y方向为100mm/s，θ方向为10°/s。

系列

Brooks Automation 001-4130-03属于Brooks Automation的VCE系列。

特征

高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现高精度晶圆对准。

高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。

安全性：设计有安全机制，防止意外移动或操作错误导致的设备损坏。

作用与用途

Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造的各个环节，包括晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、CMP、测试和封装等。它在光刻阶段尤为重要，用于将晶圆对准光掩模，确保电路图案在曝光期间正确转移到晶圆上。此外，它还广泛应用于半导体制造的前道工艺，如光刻、刻蚀、沉积、扩散和离子注入等。