001-4130-03 Brooks Automation
该控制器模块通常用于自动化和过程控制系统中,能够提供高精度、高速度和高稳定性的操作。其设计包括冗余机制以确保高可靠性,并采用伺服电机和编码器实现精确的晶圆位置和角度控制,误差范围可达微米级。
参数
流量范围:0至20 L/min
精度:±0.5%
重复性:±0.25%
响应时间:<250ms
工作温度:-20°C至+80°C
防护等级:IP65
认证:CE、ATEX、IECEx
特征与作用
该控制器具备高精度定位功能,这对于制造高质量的半导体器件至关重要。它还具有快速的动态响应速度,可以迅速调整晶圆的位置和角度,从而提高生产效率和产品质量。
应用领域
主要应用于半导体制造的各个环节,包括晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、CMP、测试和封装等。此外,它也可用于各种类型的晶圆对准设备,如步进式对准机、扫描式对准机和双曝光对准机等